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是一种无色、无味、无毒的气体，不可燃，微溶于水。分子为八面体构型，属于超价分子，无极性(化学式：SF6)
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新
一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以良好的绝缘性能和灭弧性能。电子级六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被应用于微电子技术领域。
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