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又称为砷化氢、砷化三氢、甲锗烷、是一种有毒、易燃的气体(化学式：AsH3)
砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。 用 途： 砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。 工业上生产的砷烷用于有机合成，同时应用在太阳能光伏行业、集成电路等。
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